Рассадин А. Э., Фомин Л. А.

УДК 537.1; 537.9; 517.958 doi: 10.25730/VSU.0536.18.27

Новый метод измерения поверхностной проводимости тонких круглых образцов, альтернативный методу Ван дер Пау*

А. Э. Рассадин¹,Л. А. Фомин²

¹член Правления, Нижегородское математическое общество,Россия, г. Нижний Новгород.
ORCID: 0000‑0002‑7396‑0112. E‑mail: brat_ras@list.ru

²кандидат физико‑математических наук, заведующий лабораторией,

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. Россия,
Московская область, г. Черноголовка. E‑mail: fomin@iptm.ru

Аннотация. В настоящее времячетырехточечная схема электрических измерений имеет широкий спектр применений, включая характеризацию металлических и полупроводниковых наноструктур. Для характеризации электрических свойств пленок принято использовать метод Ван Дер Пау. В работе предложена альтернатива этому методу для измерения поверхностной проводимости образцов в форме тонких круговых дисков. В основу нового метода положено новое точное решение задачи о распределении потенциала в таком образце.

Ключевые слова: метод Ван Дер Пау, микроэлектроника, электрические свойства наноструктур, зондовая микроскопия, разделение переменных,ряд Фурье, задача Неймана.

* Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований, грант № 18‑08‑01356‑а. Работа

Л. А. Фомина поддержана Государственным заданием № 007‑00220‑18‑00.

Свежие номера журналов

Рассадин А. Э., Фомин Л. А.